Shanghai Yuliangshengは2022年、複数の中国企業のDUV研究開発人材を集めて設立され、登録資本金は約1億4800万ドル。SMICが2025年9月からこの液浸DUV装置をテストしており、初回出荷はSMIC・華虹半導体・CXMTに予定されている。
設立 2022 · 本社 中国上海