육불화텅스텐(WF6)은 화학기상증착(CVD) 공정에서 반도체 칩 내부에 텅스텐 배선층을 입히는 데 쓰는 특수가스다. 투입량이 적어 눈에 잘 안 띄지만, 이 가스 공급이 빠듯해지면 완성된 칩이나 패키징 능력이 충분해도 배선 공정 자체가 병목이 될 수 있다.