가스를 순간적으로 들뜨게 만들어 파장이 짧은 자외선을 뿜는 장치다. 파장이 짧을수록 더 가는 회로를 새길 수 있어, 파장 193나노미터의 불화아르곤 엑시머 레이저가 DUV 노광장비의 표준 광원으로 쓰인다. 같은 주파수에서 출력이 높을수록 시간당 처리하는 웨이퍼 수가 늘어나기 때문에, 출력은 장비의 생산성을 그대로 좌우한다.