ASML의 7나노 노광기를 손에 넣고도 중국이 2008년 모델을 만들어 낸 이유는 뭘까?

1980Di를 분해해서 복제하지 못하고, 구형모델인 1950i를 만든 수준인 것임.

국산화율 70%를 이뤘다고 하지만, 이것을 뒤집어 보면 30%의 주요부품을 수입해와야 제작이 가능하다는 말이기도 함.

1980Di를 분해하고 재조립에 실패해서 ASML에게 수리를 요청한 것이 2025년 10월임.

중국이 만들었다는 액침 노광장비는 ASML이 2008년에 내놓은 NXT:1950i와 같은 급이다. 28나노 회로를 한 번에 새기는 수준이고, 그 위 세대인 2015년 모델 1980Di는 아직 만들지 못했다. 7월 27일 상하이의 국가 지원 업체가 이 장비 양산을 시작했다는 보도가 나오자 ASML 주가는 5.7% 내렸고, 장중에는 7%까지 밀렸다.

톰스하드웨어는 이 장비가 한 번의 노광으로 28나노급 회로를 새기고, 노광을 여러 번 겹치는 방식을 쓰면 7나노급까지 간다고 전했다. 올해 인도 물량은 5대 안팎, 내년에도 20대 수준이다.

왜 하필 2008년 모델인가

노광장비는 웨이퍼 위에 회로를 빛으로 새기는 기계다. 반도체를 만드는 전체 시간의 60%, 비용의 35%가 이 한 공정에서 나간다. 빛을 만드는 쪽부터 보면, 커이훙위안이 국산화한 광원은 6kHz에 60W다. 같은 주파수에서 90W를 내는 ASML 제품에는 미치지 못한다. 렌즈는 마오라이광학이 300mm 대구경 검증을 통과했다고 한다. 다만 정밀도가 30나노급이라, 10나노 미만인 독일 자이스 렌즈를 결국 수입해 썼다고 전해졌다.

아시아타임스는 이 장비의 이름이 SSA800이고, 2023년에 세워진 상하이 아이성나 전자기술그룹이 위량성과 SMEE의 개발 인력을 흡수해 만들었다고 전했다. 부품의 70%를 국산으로 채웠지만 193나노 엑시머 레이저용 거울, 자이스 렌즈, 진공 챔버, 동기 제어 알고리즘은 여전히 수입한다. 국산화율 70%를 뒤집으면 30%는 밖에서 사 와야 만들 수 있다는 말이다.

1980Di는 왜 못 베꼈나

화웨이는 이미 그 윗세대를 손에 쥐고 있었다. 우한의 HSMC가 7나노 공장을 짓겠다며 ASML 1980Di를 들여놓고 부도가 났고, 중국 정부가 이 회사를 인수해 화웨이에 넘겼다. 2025년 10월, 중국은 그 장비의 수리를 ASML에 요청했다. 현장에 간 기사가 본 것은 분해된 뒤 조립에 실패한 상태였다고 한다. 여기에 캘리브레이션이 걸려 있다. 렌즈와 거울, 웨이퍼 받침대의 위치를 나노미터 단위로 맞춰 놓은 정밀 세팅인데, 공장에서 수백 개의 기준점을 잡아가며 몇 주에 걸쳐 맞춘 것이다. 뜯는 순간 이 정렬이 어긋나고, 되돌리는 소프트웨어 키는 ASML만 갖고 있다. 완성품을 손에 넣어도 열어 보는 순간 못 쓰게 되는 구조다.

ASML은 무엇을 잃게 되나

중국이 서두른 이유는 시간이다. EUV는 2019년부터 막혔고, 2023년 말에는 NXT:2000i 이상, 2024년 9월에는 1970i와 1980i까지 수출이 막혔다. 규제 직전 1980i를 90대 사재기했지만 성능을 1% 넘게 올려 주는 서비스까지 금지돼 유지보수가 어려워졌다.

그래서 무엇으로 가릴까

결국 질문은 하나다. 이번 양산이 ASML의 해자에 난 첫 균열인지, 규제가 만든 임시 우회로인지. 가릴 지점은 세대다. 장비가 1950i급에 머무는 동안은 우회로다. 2015년 모델인 1980Di급을 국산 부품만으로 내놓는 순간 균열이 된다. ASML은 28나노에서 7나노로 가는 데 7년이 걸렸다. 같은 길을 국산 광원과 국산 렌즈로 다시 걸어야 하는 쪽에 그보다 짧은 시간이 주어질 이유는 보이지 않는다. 노광장비는 반도체 공급망에서 대체재가 없는 유일한 자리이고, 그 자리를 누가 쥐고 있느냐가 수출 규제의 지렛대를 만든다. 이번 장비가 2008년 모델 급이라는 사실은 그 지렛대가 아직 살아 있다는 뜻이다.

그 후 어떻게 됐나

채점 대기2027년 말에 채점한다. 국산 액침 노광장비의 인도 물량이 보도된 20대 수준에 머물고 세대도 1950i급에 머물면 저자의 판단이 맞은 것으로, 1980Di급 장비가 국산 부품으로 나오면 틀린 것으로 본다.

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