◆ Stacks
용어

노광장비

필름 카메라가 빛으로 필름에 상을 새기듯, 회로 도면을 빛으로 웨이퍼에 투사해 새긴다. 리소그래피라고도 부른다. 더 짧은 파장의 빛을 쓸수록 더 가는 회로를 그릴 수 있어, 파장에 따라 DUV(심자외선)·EUV(극자외선) 세대로 나뉜다. 최첨단 EUV는 네덜란드 ASML이 사실상 독점하고 있어, 이 장비의 수출 통제가 반도체 지정학의 핵심 수단이 됐다.

강세 1관점 6약세 1

예측 · 적중 기록 6건

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