Its performance is inferior to ASML’s.
Some components are imported from Japan, but most are made in China.
Production volume remains far too low. Twenty units next year is nowhere near enough.
중국이 자국산 심자외선(DUV) 노광장비로 반도체 양산에 들어갔다. SMIC, 화홍반도체, CXMT 세 곳이 올해 첫 물량을 받는다. 다만 성능은 ASML 장비에 못 미치고 생산량도 많지 않아, 이번 조치를 자립의 증거로 볼지 아직 갈 길이 멀다는 신호로 볼지는 시각이 갈린다. 27일 정보매체 디인포메이션에 따르면, 국가 지원을 받는 상하이 소재 업체가 액침(液浸) DUV 노광장비 양산을 시작했다. 반도체 애널리스트 주칸은 이 소식을 전하며 성능과 부품 구성을 짚었다.
노광장비는 반도체 웨이퍼에 회로 패턴을 새기는 장비로, 반도체 공정에서 가장 비싸고 대체하기 어려운 설비로 꼽힌다. ASML은 이 장비 중 가장 앞선 세대인 극자외선(EUV) 노광장비를 사실상 독점 공급하며 전 세계 파운드리의 목줄을 쥐고 있다. 이번에 중국이 만든 것은 그보다 한 세대 아래인 DUV 장비다. 단일 노광으로 28나노급 회로를 새길 수 있고, 노광을 여러 번 겹치는 다중노광 방식을 쓰면 7나노급까지도 가능하다.
주칸은 두 가지를 짚었다. 하나는 성능이다. 이 장비는 ASML 제품보다 성능이 떨어진다. 다른 하나는 부품이다. 대부분 부품을 중국산으로 채웠지만 일부 핵심 부품은 여전히 일본에서 들여온다. 완전한 자립은 아니라는 뜻이다. 생산량도 문제다. 올해 인도 물량은 5대 안팎, 내년에도 20대 수준에 그칠 전망이다. SMIC·화홍반도체·CXMT 세 곳의 수요를 채우기엔 턱없이 부족한 숫자다.
정부 지원 아래 처음으로 국산 DUV 장비가 실제 양산 라인에 투입됐다는 것 자체가 상징적 이정표다.
성능은 ASML보다 떨어지고 내년 생산량도 20대뿐이라 SMIC·화홍·CXMT 세 곳의 수요조차 채우지 못한다.
당장 ASML의 지위를 흔들 수준은 아니다. 다만 중국이 노광장비 국산화의 첫 단추를 꿴 것은 사실이고, 물량과 성능이 늘어나는 속도를 지켜볼 필요는 있다. 대만·한국·일본이 쥔 장비 공급망의 병목이 조금씩이라도 옅어지기 시작했다는 신호이기 때문이다.
투자 포인트 · 노광장비는 반도체 공급망의 마지막 병목이라, 중국의 국산화 성패가 앞으로 몇 년간 반도체 지형을 가를 변수가 된다.
짚어볼 점 · 중국의 국산 DUV 노광장비, 진짜 위협의 시작일까 아니면 아직 시기상조일까?
채점 대기2027년 말, 이 업체의 DUV 노광장비 실제 출하량이 20대 안팎에 도달했는지 채점.