Deep Ultraviolet(심자외선)의 약자다. 단일 노광으로는 28나노급 회로까지, 같은 자리를 여러 번 겹쳐 찍는 다중노광을 쓰면 7나노급까지 만들 수 있다. EUV 장비 수출이 막힌 중국은 DUV로 얼마나 버티고 따라잡느냐가 반도체 자립의 관건이라, 중국산 DUV 장비 양산 소식이 시장을 흔드는 재료가 된다.