나노미터(nm) 단위로 표시되며, 숫자가 작을수록 같은 면적에 더 많은 트랜지스터를 넣을 수 있어 성능과 전력효율이 좋아진다. 최신 미세공정일수록 필요한 노광장비의 정밀도가 높아지고 가격도 비싸져, 어떤 장비를 확보했는지가 곧 그 기업이 만들 수 있는 칩의 한계를 정한다.