◆ Stacks
用語

キャリブレーション

露光装置は光源とレンズ、ウェハーの台がナノメートル単位で整列していないと回路が正しく刻まれない。この整列は工場で数百の基準点を取りながら数週間かけて合わせたもので、装置を開けた瞬間に狂い、メーカーの手順とソフトウェアキーなしでは戻しにくい。完成した装置を手に入れてもリバースエンジニアリングが容易でない理由がここにある。

強気 1

予測・的中記録 1件

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