Deep Ultraviolet(深紫外線)の略。1回の露光で28ナノ級まで、同じ場所に複数回重ね焼きするマルチパターニングを使えば7ナノ級まで作れる。EUV装置の輸出が封じられた中国にとって、DUVでどこまで粘り追い上げるかが半導体自立の鍵であり、中国産DUV装置の量産のニュースは市場を動かす材料になる。