◆ Stacks
용어

하이NA EUV

빛을 모으는 렌즈를 키워 기존 EUV보다 더 가는 회로를 한 번에 새길 수 있는 노광장비다. 여러 번 나눠 찍던 공정을 줄여 원가와 생산량을 함께 개선할 수 있지만, 장비 한 대 값이 기존 EUV보다 훨씬 비싸고 공정 전체를 다시 맞춰야 해서 도입 시점을 두고 인텔과 삼성전자, TSMC의 판단이 갈린다.

강세 1

예측 · 적중 기록 2건

관련 글 2건