◆ Stacks
用語

ハイNA EUV

光を集めるレンズを大きくし、従来のEUVより細い回路を一度で焼ける露光装置。焼く回数を減らして原価と生産量を同時に改善できるが、装置1台の価格が従来EUVよりはるかに高く、工程全体を合わせ直す必要があるため、導入時期をめぐってインテル、サムスン電子、TSMCの判断が分かれている。

強気 1

予測・的中記録 2件

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