◆ Stacks
用語

開口数

半導体露光装置の性能を分ける値のひとつ。値が大きくなると同じ波長の光でもより細い回路を焼けるため、露光装置の世代を分ける基準として使われる。

強気 1

予測・的中記録 2件

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