ナノメートル(nm)単位で表され、数字が小さいほど同じ面積により多くのトランジスタを詰め込め、性能と電力効率が上がる。より微細な工程に進むほど必要な露光装置の精度は上がり価格も高くなるため、どの装置を確保できるかがそのままその企業が作れるチップの限界を決める。