フィルムカメラが光でフィルムに像を焼き付けるように、回路図を光でウェハーに投影して刻む。リソグラフィーとも呼ばれる。より短い波長の光を使うほど細い回路を描けるため、DUV(深紫外線)・EUV(極端紫外線)と世代が分かれる。最先端のEUVはオランダのASMLが事実上独占しており、この装置の輸出規制が半導体地政学の中心的な手段になっている。